依次關高閥、前級、機械泵， 2.待分子泵顯示到50時。這期間約需40分鐘。3.50以下時，再關維持泵。

真空計檔位置V1位置，一、電控柜的操作 1.開水泵、氣源 2.開總電源 3.開維持泵、真空計電源。等待其值小于10后，再進入下一步操作。約需5分鐘。

開渦輪分子泵電源、啟動，4.開機械泵、予抽。真空計開關換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。

關予抽，5.觀察渦輪分子泵讀數到達250以后。開前機和高閥繼續抽真空，抽真空到達一定水平后才干開右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達210-3以后才干開電子槍電源。

延時、電源及保護燈亮，二、DEF-6B電子槍電源柜的操作 1.總電源 2.同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關。三分鐘后延時及保護燈滅，若后門未關好或水流繼電器有故障，

維護燈會常亮。

高壓會達到10KV以上，3.開高壓。調節束流可到200mA 左右，簾柵為20V/100mA 燈絲電流1.2A 偏轉電流在1~1.7之間擺動。三、關機順序 1.關高真空表頭、關分子泵。

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